第三，装备与工艺协同。 林薇接过话头，她面前摆著的是星流未来屏幕工厂和晶片前道工艺的资料。

“光刻机只是工具，最终目的是在硅片上刻出合格的电路。『追光计划』必须与我们的晶片製造工艺研发深度协同。我们会立即成立一个联合工艺小组，驻扎在这里。光刻机的任何进展，都要第一时间在我们的工艺线上进行验证和叠代；反过来，我们在硅片材料、光刻胶、涂布显影等配套工艺上的任何突破，也要反馈给光刻机团队，优化设备参数。”

她目光坚定地看向陈醒和张京京：

“这能確保我们造出的『中国光刻机』，从一开始就是为『中国晶片』量身定製的，是最適合我们工艺体系的利器，而不是一个简单的仿製品。”

第四，人才与时间表。 计划制定了极其严苛，甚至被外界看来是“不可能完成”的时间节点：6个月內，完成所有子系统技术路径论证和初步设计；18个月內，拿出工程样机並进行单项技术验证；36个月內，实现首台国產浸没式光刻机的整机集成与流片测试。

“我知道这个时间表非常激进。”

陈醒看著与会眾人，

“但我们没有慢慢来的资本。天权3號等不了，国家的期望等不了，我们自己的生存更是等不了！『星火燎原』股权激励已经落地，现在，是时候让所有人看到，我们配得上这份信任，担得起这份重託！”

“追光计划”全面启动，这座大楼迅速变成了一个不同学术背景、不同工业领域精英们碰撞思想、攻坚克难的熔炉。走廊里隨处可见激烈討论的工程师，白板上写满了复杂的公式和草图，实验室里通宵达旦地亮著灯光。

然而，困难远超想像。仅仅是理解阿斯莫光刻机那数以十万计的零部件功能与相互关联，就是一个浩瀚如烟的工程。

一些特殊的核心材料，如製造顶级物镜所需的超低膨胀係数玻璃、镜面多层膜材料，其配方和工艺完全被国外巨头垄断，国內基础几乎为零。

张京京团队在光源实验室里，面对如何稳定產生並控制极紫外光这一世界级难题，进展缓慢，一次次实验，一次次失败。

李明哲则要应对更加现实的威胁：现有阿斯莫设备的维护。

隨著原厂技术支持的断绝，一些设备的稳定性开始出现细微的下滑，產能和良率都受到了潜在影响。

他组织了一支由公司最资深设备工程师组成的“特种维护队”，靠著有限的图纸和以往的经验，小心翼翼地维持著这些“娇贵”设备的运转，每一次非计划停机都让所有人捏一把汗。

一天深夜，林薇在“追光”指挥部处理完一个工艺匹配的问题后，没有直接回家，而是绕道去了晶片前道製程的研发实验室。

她心里始终惦记著那个能提升良率的硅片清洗新工艺。

在翻阅一批刚出来的测试晶圆电性参数报告时，她敏锐地注意到一个奇怪的现象：在某一批次使用了某种实验性清洗配方的晶圆上，虽然整体良率没有显著提升，但在特定图形区域，线宽均匀性却出现了异常优异的数据。

这个发现让她心头一动。她立刻调出了该批次清洗工艺的详细记录，反覆比对参数，一个之前被忽略的可能性，在她脑海中逐渐清晰起来。

也许，问题不是出在清洗的“力度”上，而是出在清洗的“精度”和与后续光刻、刻蚀工艺的“协同”上？

她立刻在实验日誌上做了详细的標记，並给自己定下了一个任务：明天一早，就召集清洗和工艺集成团队的负责人，沿著这个新的方向，重新设计实验方案。

也就在这个夜晚，陈醒接到了“芯火燎原”计划国家层面推进办公室的正式通知：“追光”专项，已被列为“芯火燎原”计划內，优先级最高、保密等级最高的“头號工程”，代號“铸剑”。

国家將调动一切可调动的资源，为其保驾护航。

放下电话，陈醒走到窗边，望著“追光”大楼那彻夜不息的灯火。

前路依旧迷雾重重，荆棘密布。但他知道，一支人心凝聚、目標明確的队伍，已经向著那看似不可逾越的技术巔峰，发起了最决绝的衝锋。