第74章 神座的坍塌 15岁,成为国宝级天才科学家
他也看过一些比较“水”的论文,但是都只是新瓶装旧酒,翻来覆去的说一些废话,但是硬伤其实没多少。
但是在看了佐藤健一郎昨天的论文,將那些看似完美的公式,那些令人惊嘆的数据,一点点拆解、分析之后,他发现这个论文不仅仅是那一个数据有问题,那种不和谐感,更像是贯穿始终的隱患。
短短十分钟,他就已经標註出了5个明显的错误。
除了昨天发现的光刻胶收缩率修正係数错误之外,还有2个公式推导错误,1个实验数据造假,与实验条件不匹配,1个逻辑漏洞。
其中,最严重的就是那个逻辑漏洞。
佐藤健一郎的正则化框架,核心是解决euv光刻中的像差和失真问题,但他在建立模型时,竟然忽略了杂散光的干扰。
要知道,杂散光会导致电路图案边缘模糊,影响晶片的精度和良率,这可是euv光刻中一个极其关键的因素。
忽略了这个因素,他的整个模型就失去了实际应用价值,所谓的“完美解决误差问题”“良率突破95%”,也只是空中楼阁,纯属空谈。
几乎可以说,这篇论文毫无可取之处,不管是计算还是理论都充满了矛盾,全是bug。
一个对学术严谨性有极高追求的人,是绝不会出现这样的疏漏的。
而一个习惯了弄虚作假的人,必然会在更多的地方留下痕跡。
於是,肖宿还找到了佐藤健一郎近10年发表的所有核心论文,一共17篇。
佐藤健一郎確实挺有分量的,这17篇论文,篇篇都是光刻和数学领域的“硬通货”。
其中8篇发表在《光刻科学与技术》(lst)上,这本期刊是全球光刻领域的顶流,相当於学术圈的“顶奢杂誌”,能在上面发表一篇论文,足以让很多学者评上教授、站稳脚跟。
另外6篇发表在《应用数学进展》,这也是国际数学界公认的核心顶刊,专注於应用数学的前沿研究,审稿严格到令人髮指。
剩下3篇则刊登在《计算光学学报》,同样是领域內的权威刊物,聚焦於计算光学与晶片製造的交叉领域。
更值得一提的是,这17篇论文中,有5篇被评为“年度最佳论文”,3篇被引用次数超过千次,是全球光刻数学领域很多研究的“基础模板”。
也正是靠著这些论文,佐藤健一郎才坐稳了京都大学教授的位置,拿到了日本学术振兴会的特別资助,甚至成为了国际光学工程学会的最高荣誉获得者,在全球光刻领域拥有举足轻重的话语权。
肖宿点开了佐藤健一郎发表在《光刻科学与技术》上的一篇顶刊论文,这篇论文发表於3年前,被引用次数超过800次,是很多学者研究euv光刻数学模型的重要参考。
依旧是十几分钟,肖宿就看完了这篇论文,找出了4个错误,其中一个是关键的计算错误,在计算光刻解析度的时候,佐藤健一郎误用了公式,將数值算小了,导致整个实验结论出现偏差。
还有一个是理论推导错误,他將两种不同的光刻数学模型强行融合,忽略了两者的適用条件,导致模型本身自相矛盾。
就这样,肖宿一篇接一篇地看下去,速度快得惊人,却从未遗漏任何一个错误。
他的草稿本,一页又一页地写满了错误標註、正確的推导过程,还有对错误影响的简要分析。
下午四点多的时候,肖宿终於关掉了最后一篇论文。
他已经看完了佐藤健一郎近10年发表的所有17篇核心顶刊论文,找出了大大小小將近50多个错误,平均每篇论文有3个错误,有的论文甚至有5个之多。
更令人震惊的是,其中有12个错误是致命的。
一旦这些错误被证实,不仅仅是单篇论文失效,整个佐藤正则化框架都会崩塌,甚至会影响到全球范围內基於他的研究开展的后续工作,那些引用过他论文的研究,也都会面临被推翻、被撤回的命运。
肖宿看著眼前密密麻麻的批註,眉头紧锁。
他实在无法理解,藤田健一郎怎么能犯下这么多的错误,而且学界的人还看不出来,將他的理论奉为圭臬?
或许,学术圈有时候並不只是需要真理,也需要一尊可以膜拜的“神像”。
而当所有人都习惯了仰视,便没人会去检查“神像”脚下的基座,早已裂痕遍布。