第197章 涌向ck的暗流

荷蓝，埃因霍温，阿斯唛（asm）研发实验室。

空气中弥漫着一种近乎凝固的兴奋，混合着精密仪器的特殊冷却液气味和咖啡的浓郁香气。

巨大的洁净室内，一台庞大而复杂的机器，人类历史上第一台极紫外（euv）光刻机原型机，正静静地矗立在中央，仿佛一头蛰伏的金属巨兽。

虽然它此刻的晶圆良品率低得可怜，仅有30%，光源输出功率也忽高忽低，稳定性堪忧，远未达到商用标准，但这并不妨碍围绕它的研发人员们脸上洋溢着巨大的成就感和狂喜。

突破了！

他们真的突破了物理的极限，为摩尔定律的延续凿开了一道新的曙光！

与已经十分成熟、但已逼近物理极限的深紫外（duv）光刻机相比，这台euv是通向7nm乃至更先进制程的全新道路。

实验室的门滑开，阿斯唛总裁皮特·温尼克面带笑容地走了进来，立刻被热烈的掌声和欢呼包围。

他热情地与每一位核心工程师握手，声音洪亮而充满感染力。

“女士们，先生们！

今天，你们创造了历史！

这台机器，不仅仅是一台光刻机，它是人类智慧对抗物理法则的又一次伟大胜利！

它证明了我们阿斯唛走在正确的道路上，证明了全球协作的力量！

euv的时代，将由我们一同开启！”

狂欢的气氛被推向了高潮。

香槟酒塞“嘭”地打开，泡沫四溅。

在一片欢腾中，温尼克将euv项目负责人，来自台机电的技术大拿闫涛南叫到了一旁相对安静的角落。

温尼克脸上的笑容稍稍收敛，他需要了解更现实的情况。

“闫，干得漂亮！

但现在，我需要知道最真实的数据。

如果我是说如果，我们的关键子系统被迫启用备用供应商，对良率的影响具体有多大？”

闫涛南推了推眼镜，技术人的严谨让他迅速进入状态，语气清晰而准确。

“温尼克先生，情况如下：

光源系统：

目前我们使用北美cymer的lpp（激光等离子体）光源，能量转换效率达到5.5%。

如果换用备用供应商得国trumpf的30kw二氧化碳激光器，其转换效率为3.42%，且稳定性稍逊。

模拟结果显示，这会导致整体良品率下降约5%。

光学系统：

核心是得国蔡斯（zeiss）的euv反射镜，其表面粗糙度控制在惊人的0.1nm以内。

如果启用备用方案，即霓虹尼糠（nikan）和佳（conon）的组合，他们的镀膜工艺目前难以达到同等水平，可能会引入更高的缺陷密度。

估算下来，反射镜缺陷率若从蔡斯的0.001个/平方厘米上升到0.03个/平方厘米，良品率将下降10%。

对准系统：目前我们采用的是来自种的橙科（ck）的对准子系统。

它的静态精度达到了0.000018°/h，动态群体校正算法能有效补偿振动，定位误差控制在亚纳米级。

如果换回我们之前使用的得国蔡斯方案，其动态误差控制略逊，可能导致套刻误差增加，良品率预计下降5%。”

提到“种的ck”时，闫涛南的语气微微一顿，一丝极其复杂的情绪在他眼中一闪而过。

那是一种夹杂着对同胞技术崛起的微妙自豪感，与对两岸未知竞争格局潜藏的不安。

温尼克认真地听着，手指无意识地轻敲着桌面。

“我明白了！我们阿斯唛能成为全球光刻机的领导者，正是因为我们汇聚并整合了全球最顶尖的技术。

自己搞全产业链的霓虹和北美对手，反而被我们甩在了身后。”

温尼克脸上重新露出笑容，用力拍了拍闫涛南的肩膀。

“闫，你的工作无比出色，董事会已经批准，正式任命你为阿斯唛全球副总裁，全面负责euv后续的迭代和商业化量产！这是你应得的！”

“非常感谢您的信任，温尼克先生！”闫涛南激动地与总裁握手。

离开euv实验室的喧嚣，温尼克又来到了隔壁的duv光刻机研发中心。

这里的气氛相对沉稳，技术更加成熟。

他找到了负责duv的副总裁兼首席技术官马丁。

“马丁，我们新一代的nxe:3300b duv光刻机（用于7nm及以上制程），换装了新的子系统后，效果如何？”

马丁脸上洋溢着自信的笑容。

“非常好，温尼克！

原本我们的新一代duv光刻机的良品率基准在50%。

换装北美cymer的新光源后，提升了10%。

采用得国蔡斯最新的光学系统，又提升了10%。

最关键的是，引入了你上次特批的那家种企业ck micro motor的对准子系统，再次提升了10%！

现在nxe:3300b的稳定良品率达到了惊人的 80%！

远远超过霓虹尼糠最新机型nsr-s635d的两倍。

我们在duv光刻机领域的优势，还在扩大！”

温尼克满意地点点头。

这正是他全球化供应链战略的成功印证，用世界最好的技术，造世界最好的机器。

“很好！euv项目继续推进，督促所有供应商，尤其是cymer、蔡斯和ck，尽快优化技术，解决更多的技术问题，目标是早日实现euv的商业化量产！”

“至于新一代的duv光刻机，全面采用这些新的、经过验证的顶尖子系统方案，立刻扩大采购，巩固我们的市场领先地位！”

命令迅速下达。

阿斯唛的供应链采购工程师们，带着雪片般的新订单，飞往北美、得国，以及大洋彼岸遥远的种。

飞往种的，依然是橙科的老熟人--保罗。

这次，他甚至回去带上了自己的女儿艾丽，想让她亲眼看看这个正在飞速崛起的神秘东方国度。

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