第257章 从今天开始，游戏规则变了【求订阅】

徐铭同海內外，公司代表负责人打完招呼，便返回休息室养精蓄锐。

等待上台演讲。

面向全世界，展示逐光极紫外光刻机的技术性能。

他作为项目总设计师，早就和逐光，以及璇璣系统深度绑定，加上这段时间行业內討论，自然没有人比他更適合担任主讲人。

上午九点半。

在线上无数人的狂欢声中，国际半导体技术大会正式拉开序幕。

会场灯光调製明亮的会议模式，主舞台中间的巨大屏幕格外吸引眼球，台下超过两千个座位近乎坐满，前排的贵宾席上，微电子装备的贺鹏涛和丁顺安，华天科技董事长孙庆丰与华芯国际崔景和，以及阿斯麦执行长温克姆新思特德斯等人落座。

连海外两大晶圆厂，也派遣了人员出席参加。

可以说代表著整个半导体行业的权威。

他们彼此轻声寒暄，气氛如同行业间的非正式峰会。

当现场同声传译间灯亮，工作人员就位，摄影记者在后排和走道调试好设备。

场內瞬间安静下来的同时，科学院院长余高远，作为代表上台致辞。

很快按部就班说完后，念出首个演讲的人员名单。

“接下来，有请阿斯麦执行长温克姆先生，为我们描述未来十年的光刻航线。”

温克姆对自己首个演讲並不在意，哪怕刚才同徐铭进行了几句交流，此刻神情依旧保持著轻鬆自信，对自家的极紫外光刻机胸有成竹。

他相信阿斯麦数十年基础物理学，和全球供应链建立的护城河。

紧接著。

迈步走到台上，面对底下观眾开始发言。

“先生们，女士们————”

而对於演讲的內容，则主要是展示自家最新发布的极紫外光刻机，包括稳定性与產能成就，以及光刻机部分精美部件图片和测试数据。

所表达的目的只有一个。

那便是告诉全行业，阿斯麦依旧保持领先地位。

这是他参加本次大会的核心目的。

“我们的成功，源於与蔡司等行业伙伴数十年如一日的深度绑定，以及抬积电等晶圆厂共同进行的数千个工艺节点的调试。”

“阿斯麦不怕竞爭。”

“最近我们也看到了一些有趣新方法，但半导体製造是科学，也是需要数十年积累的艺术，可靠性必须由时间才能检验证明。”

“我们不是在雕刻硅片，而是在雕刻行业未来。”

约摸半个小时左右的演讲结束，伴隨著温克姆话音落下的同时，场內也响起了一片会意的掌声笑声。

多为海外半导体上下游企业。

甚至连特德斯，眼神中都浮现出几分期待。

或许阿斯麦公司的產品，真的要比逐光极紫外光刻机更加先进。

毕竟具体性能如何，不单靠嘴上说说。

如果华方仅用两三年时间，研发出的逐光极紫外光刻机並没有想像的厉害，那对於他们乃至海外市场，无疑是件令人值得高兴的喜事。

起码行业能继续保持稳定。

避免技术变革，所带来的顛覆性衝击。

然而当镜头对准国內这边，尤其是贺鹏涛和丁顺安以及孙庆丰等人，则丝毫没有被温克姆的演讲影响。

脸上表情始终保持著镇定自若的微笑，仿佛一切都在掌握之中。

不过与此同时线上直播间內，网友们则不需要顾忌任何人畅所欲言，对温克姆的自欺欺人表示想笑。

弹幕刷新速度堪称坐火箭。

“要是放在几年前，我会说一句阿斯麦的光刻机设备確实牛逼，但现在只能讲比著咱们还得努力。”

“行业经验再多不还是7纳米光刻机，想不到怎么敢碰瓷逐光5纳米的。”

“他不会真以为，徐教授作为总设计师的项目，其研究成果会搞什么虚假水分吧？”

“还是对徐教授不太了解啊！”

“逐光单在技术上，就和阿斯麦不再一个层次了，其他的说再多也没用，希望等会徐教授上台对方不要听傻眼。”

“从咱们逐光极紫外光刻机问世的那刻，整个半导体行业就已经被重新书写了。”

“这场大会的主角只有一个，那就是逐光。”

“大家快看，徐教授上台了！”

徐铭自然听完了温克姆的演讲，对其所讲的內容可以说丝毫不感到意外。

从刚见面打招呼时，他便感受到了，对方所展露出来的强烈自信，但比较遗憾的是，在绝对技术差距前，再多十几年的行业经验照样没用。

以前是国內技术落后，如今已然发生翻转。

和温克姆不同，徐铭稳步来到讲台中间，他身穿简约深色正装，没有讲稿和雷射笔，顶著一张年轻且英俊的脸庞仅往那一站，便引起场內雷鸣般的掌声，更使得许多人微微调整坐姿集中注意。

哪怕温克姆和技术官布林克，都摘掉了眼镜，用镜布缓缓擦拭。

因为无论逐光极紫外光刻机达到何种水平，单徐铭对学界的贡献便足以被每个人尊敬。

这无关年龄。

徐铭此刻的神態，没有任何挑战者的张扬，反而带著种问题解决者步入实验室般的平静。

他没有寒暄耽搁时间，直接念出自己的开场白。

“在过去，光刻机的进化，是在一条既定的道路上，追求更快的马。”

“而今天我想分享的，是我们为何选择，以及如何造出了一辆车””。

说完。

背后的大屏幕中，並没有展示晶片图片，反倒是调出了一组对比鲜明的动態模擬图。

左侧为传统轰击锡滴方案，右侧则是逐光使用的全新极紫外光源系统。

徐铭侧过身子看向屏幕，为大家介绍的同时，还不忘在后面报出三个数字。

“相比较传统的锡滴发生器和雷射路径，我们根据基础物理学的新理论发现，设计出全新的极紫外光源。”

“它的能量转化效率达34%，热负载降低87%。

“连续无维护运行时间，理论超过3000小时。”

首次在大会中披露出逐光的详细数据，几乎当声音在会场落下的瞬间，台下顿时响起阵难以置信的窃窃私语。

温克姆以及技术官布林克，皆身体前倾，眉头紧蹙。

身为阿斯麦半导体设备执行长，他太清楚这些数据意味著什么。

自家公司的工程师，为提升几个点的转换效率，降低几摄氏度的镜片热变形付出的代价，在这一刻似乎显得有些近乎悲壮。

“原来是这样。”

“难怪他们能解决物镜系统的短板。”

他回想起华国研发光刻机，在物镜上面一直以来的技术落后，先前还在疑惑为何能如此快突破，现在才明白竟是凭藉全新的光源系统来进行弥补。

念头停留在这里，嘴唇忍不住微动，用仅能身旁布林克听见的声音自顾自低喃一句。

“这不是改进，是对光源物理的重新书写。”

然还没容他继续思考，注意力顿时又被台上，徐铭放出的新內容吸引。

“凭藉逐光极紫外光刻机，和璇璣算法工具，以及由我们自主研发的全新一代光刻胶共同配合，首次全链路流片验证便取得圆满成功。”

“设备综合利用率98.7%。”

“预测良率98.3%。”

“实际量测良率99%。”

目光盯著屏幕中，那近乎一条直线的波动曲线，温克姆脸上的自信彻底消失不见。

他下意识地看了眼身旁的布林克，发现后者正捧著笔记本电脑快速敲击，似乎是在验算著什么，並且整个脸色越来越白。

公司最先进的工厂，要打成这样的稳定性，需要多复杂的自適应调教，多么漫长的工艺爬坡，他们两个人可以说都非常心知肚明。

如此小的预测和实际测量误差，完全违背了他们熟知的工业常识。

却也说明对方已经具备成熟的系统协同。

毫不夸张的讲，他们与海外眾多客户，数十年磨合建立的共生生態，被这种更高效更封闭的內循环模式挑战。

关键他竟找不到自家的任何优势。

台上的徐铭，没有去关注其他人的反应，在最后他又放出了两张测试晶片的电子显微镜照片。

正是逐光生產的5纳米复杂工艺，以及阿斯麦公布的自家7纳米流片数据。

“请注意边缘轮廓与接触孔底部的形貌。”

徐铭从旁提醒著，隨之调出三维原子探针断层扫描数据图揭示细节。

能够清晰看到，逐光极紫外光刻机產出的结构，侧壁垂直度和界面粗糙度在统计指標上更优。

同样半个小时过去，徐铭的这场演讲，也以圆满的结尾进入尾声。

“我们研发的不是一台光刻机，我们提供的，是一个確定的答案。”

“输入设计目標，输出製造结果。”

“其间的所有不確定性，由我们的系统消化，这就是我们定义的下一代製造。”

隨著徐铭彻底讲完，场內掌声立刻如海啸般爆发。

久经不息。

但温克姆却听不到。

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