返回第159章 月產15万片晶圆破缺口  重回1990:我的科技强国路首页

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天权3號的讚誉与订单如雪片般飞来,但未来科技合城產业园內部,却瀰漫著一种比此前技术攻关时更为焦灼的气氛,幸福的烦恼,也是最为现实的烦恼,压在了每个人的肩头。

“產能攻坚战”指挥部就设在8英寸晶圆厂办公楼的核心区域。

墙上最显眼的位置,掛著一幅巨大的作战图,上面用醒目的红色標註著目標:

月投片15万片晶圆,產出合格天权3號晶片超200万颗。旁边则实时更新著三条產线的当日进度、设备状態和良率数据。

陈醒下达的死命令,像一道无形的鞭子,驱动著整个製造体系超负荷运转。

第一条战线:现有產线的极限压榨。

这项工作由李明哲和金秉洙主导。目標是在不进行大规模硬体改造的前提下,通过“软”优化,將现有產能提升20%。

金秉洙的经验发挥了关键作用。他指著复杂的產线流程图,提出了一个大胆的方案:

“传统產线是串行作业,一片晶圆必须按顺序走完所有工序。我们可以尝试將清洗、离子注入等非光刻核心环节,进行『並联』处理。在光刻机进行曝光时,其他空閒的清洗模块可以提前为下一批晶圆做准备,实现工序重叠,缩短整体生產周期。”

这需要对生產调度系统进行伤筋动骨式的改造。软体团队日夜奋战,开发出新的动態调度算法。

然而,初次试运行时,由於系统计算资源分配不均,导致两台设备爭抢同一批物料,引发了短暂的產线堵塞。

“不行!调度逻辑必须更智能,要能预判设备状態和物料流向!”

李明哲盯著监控屏幕上红色的告警信息,对软体团队负责人吼道,

“我们需要引入更精確的设备状態预测模型!”

与此同时,林薇主导的mist工艺团队也在进行著“微雕”。

为了进一步提升生產节拍,他们对清洗、刻蚀等关键步骤的工艺窗口发起了挑战。

孙浩带领团队,在確保良率不出现大幅波动的前提下,將某些步骤的处理时间压缩了百分之几。这看似微小的调整,累积到数十道工序、数万片晶圆的规模上,效果便相当可观。

经过近一个月的磨合与优化,第一条战线的成果开始显现。

通过並联作业和工艺微调,单片晶圆的平均生產周期从最初的约65小时成功压缩到了58小时。这使得现有三条產线的月投片能力,从基础的7.5万片提升到了9万片。

第二条战线:新增设备的快速导入。

这是提升產能的关键一跃,由林薇总负责,苏黛协调供应链。目標是通过引入新的国產关键设备,新增一条“准產线”,將月投片能力再提升6万片。

然而,过程一波三折。国內设备商虽然態度积极,但其產品的稳定性和精度与国际顶尖水平尚有差距。

首批交付的两台刻蚀机,在安装调试后,生產出的晶圆关键尺寸均匀性始终无法达到天权3號的严苛要求。

“参数漂移太大,腔体內部的等离子体稳定性不够。”

金秉洙在分析数据后,一针见血地指出了问题所在。

林薇没有责怪设备商,而是亲自带领未来科技的工艺工程师和设备商的研发团队,组成联合攻关小组,驻扎在车间。

他们一遍遍调试射频功率、气体流量和压力参数,甚至对设备腔体的某个內部结构提出了微小的改进建议。

经过近两周不眠不休的调试和数十次实验,终於將这两台“国產心臟”的稳定性调整到了可接受的水平。

设备问题刚解决,苏黛那边又遇到了麻烦。

新增產线需要的大量高纯度特种气体和化学原料,原有的供应商短期內无法满足激增的需求。

苏黛带著团队,几乎打遍了全球所有主要供应商的电话,动用了一切商业和人脉关係,甚至不惜支付高昂的空运费用,才勉强建立起一条脆弱的“应急供应链”,確保新增產线不会因“断粮”而停工。

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