1983年7月20日,上海钟錶厂的精密车间里,林晚秋戴著防震手套操作著台改装的摆轮拋光机——这是陈参谋用五台红旗牌轿车从瑞士侨商手里换来的二手设备,导轨上还留著1978年加工天文钟摆的油跡。她的帆布工装口袋里露出復旦大学的技术协作函,“硅晶圆表面处理“的红章被机油浸出晕染,与晶圆表面的划痕形成奇妙呼应。
“粗糙度ra达到1.2nm,“宋浩隔著防尘面具比划,他刚从上海光学仪器厂捡来的聚氨酯拋光垫还滴著去离子水。林晚秋瞥见对方工装口袋露出的《机械工程学报》,1982年版的“精密磨削“章节被折成拋光垫的形状,页边用铅笔写著:“表面平整度=钟錶游丝振幅x0.45“。
父亲的咳嗽声从临时搭建的拋光间传来,他正在用母亲的缝纫机梭芯改造晶圆夹具。“这台机器1961年给上海天文台织过钟摆油布,“他的手指划过改装的卡盘,袖口的1965年核试验纪念章蹭到“上海技改试点“的標语,“现在用来夹硅片...也算跨界重生。“
母亲端著铝製饭盒进来,粗布围裙下露出上海市经委发的《新材料试製许可》——“微电子材料“的烫金被错印成“微电孑材料“,却用焊锡在旁边补出完整的“子“。“钟錶老师傅说咱们的拋光液像钟錶油,“她的针锥挑开饭盒里的糟毛豆,动作与林晚秋调整拋光压力的手法如出一辙,“我把你爸的军功章镶在夹具上了。“
上海市纺织工业局的王科长推开门,搪瓷缸里的茶叶梗在“增產节约“的標语上漂成拋光曲线。“林厂长,“他的钢笔悬在《特种设备使用整改通知》上方,笔尖对准拋光机上的“swiss made“铭牌,“有人举报你们...用进口设备搞'资本主义电子实验'。“
林晚秋的目光扫过父亲藏在工具箱里的1983年肺功能报告——“硅尘沉积量超標241%“的结论旁,是她用红笔写的“类似晶圆表面粗糙度“批註。她摸出神秘人k.c.chen从东京寄来的航空信封,1983年《journal of vacuum science》被剪成拋光垫形状,边缘焊著块从上海半导体所废料堆捡来的拋光液喷嘴。
“这是沪港科技合作的实验设备。“宋浩把通知翻到背面,用算盘珠排列的二进位码正好组成“技改专项“的ascii值。林晚秋注意到他手臂新添的灼伤——今早调试拋光液温度时留下的,和自己锁骨下1982年提纯锗时的旧伤形成镜像。
子夜的拋光间里,林晚秋用母亲的银顶针改造的压力传感器调整拋光头。当轮廓仪显示晶圆表面起伏小於5nm时,父亲突然从袄里摸出个油纸包:“纺织局老战友埋在坯布堆里的光刻掩膜版,说比日本东芝的还耐曝光。“油纸泛黄的边缘印著“1967年军工绝密“,与他后颈日益明显的放射性白斑形成诡异呼应。
上海海关缉私队踹开门时,林晚秋正把拋光好的晶圆塞进母亲用织锦被面改的防尘袋。“查走私设备!“带队的红袖章举著《海关法行政处罚细则》,却在看到墙上掛著的“沪港技术合作奖“牌匾时顿住——铜牌边缘还留著焊锡修补的痕跡,那是上次夹具崩裂时溅出的缺口。
父亲突然按住胸口,工装口袋的硅肺寧片撒了一地。林晚秋扶他坐下时,触到他后颈淋巴结肿得像算盘珠——和桌上未完成的双面拋光设备原型机形成荒诞对照。母亲的纺织机声从隔壁传来,混著拋光机的嗡鸣,像极了上海证券交易所的开市钟声。
“让开!“王科长突然衝进来,搪瓷缸的甘草片洒在晶圆版图上。他掀开工具箱底层,露出用织锦缎包著的《1983年上海电子工业规划》徵求意见稿,扉页贴著张1969年的老照片:年轻的王科长站在上海半导体所拋光车间前,手里举的硅晶圆与林晚秋拋光的晶体型號完全一致。
凌晨四点,当最后一片晶圆完成双面拋光时,母亲突然指著干涉仪:“条纹像我织的云锦!“林晚秋凑近一看,自校准程序生成的平整度曲线果然与纺织机提图案吻合。她摸出未来科技年表,在1983年7月20日一栏写下:“用上海钟錶厂设备完成硅晶圆拋光,纺织局掩膜版与摆轮拋光机共解表面密码。“
王科长离开时,將纺织局工作证掛在门把手上——背面用铅笔写著“硅材料拋光標准db31/t 1234“,数字划痕里嵌著细小硅粉,在显微镜下排列成“长三角半导体走廊“的字样。林晚秋捏起一点,发现硅粉表面还附著著纺织厂特有的蓝靛染料颗粒。
父亲偷偷往晶圆盒里塞了个铝製饭盒,底层焊著块微型电路板,元件布局与他1966年被烧毁的拋光机手稿完全重合。母亲则在防尘袋上用织锦丝线绣了幅电路图,针脚间藏著纸条:“你拋光时哼的《茉莉》,妈听出了拋光头的振动频率。“
东方泛起鱼肚白时,林晚秋看见上海钟錶厂的钟楼开始报时,与復旦大学发来的“微电子材料研討会“通知交相辉映。她知道,在这个1983年的盛夏,中国微电子的第一片高精度拋光硅晶圆,已与钟錶厂的摆轮拋光机、纺织局仓库的光刻掩膜共同打磨,而那些藏在晶圆表面的原子级平整度密码,终將在未来解锁中国半导体的製造难题。